半導(dǎo)體潔凈車(chē)間 AMC 管控、冷媒泄漏監(jiān)測(cè)長(zhǎng)期面臨多項(xiàng)難題：

1. 傳統(tǒng) GC-MS 等設(shè)備需色譜分離、樣品前處理，檢測(cè)滯后，無(wú)法捕捉瞬時(shí)微量泄漏與突發(fā)工藝污染；

2. 常規(guī)儀器檢出限不足，難以精準(zhǔn)識(shí)別 ppt 級(jí)微量 AMC 污染物，高濕、高純工藝氣體基體下檢測(cè)穩(wěn)定性差；

3. 單臺(tái)設(shè)備組分覆蓋有限，無(wú)法同步檢測(cè) VOC、硅氧烷、各類冷卻劑等多類雜質(zhì)；

4. 操作繁瑣，依賴專業(yè)人員值守，難以實(shí)現(xiàn)車(chē)間 24h 不間斷在線無(wú)人監(jiān)測(cè)。

針對(duì)上述行業(yè)痛點(diǎn)，SIFT-MS （選定離子流動(dòng)管質(zhì)譜儀）依托選定離子流動(dòng)管質(zhì)譜核心技術(shù)，跳出傳統(tǒng)色譜的檢測(cè)框架，可在復(fù)雜氣體基體中實(shí)現(xiàn)揮發(fā)性有機(jī)物及關(guān)鍵工藝相關(guān)氣體的實(shí)時(shí)定性與定量。

與傳統(tǒng)分析技術(shù)(如GC-MS、FTIR、CRDS)形成互補(bǔ)：SIFT-MS用于連續(xù)在線監(jiān)測(cè)與多組分快速篩查，傳統(tǒng)技術(shù)用于復(fù)雜體系確證與深度分析。該組合有效突破半導(dǎo)體制造中對(duì)實(shí)時(shí)性、多組分檢測(cè)及低濃度污染物識(shí)別的限制，構(gòu)建面向AMC監(jiān)測(cè)、冷卻劑泄漏預(yù)警及工藝異常診斷的高效分析體系。

??快速檢測(cè)｜秒級(jí)響應(yīng)，連續(xù)在線

免去色譜分離步驟，秒級(jí)出數(shù)據(jù)、全天候連續(xù)監(jiān)測(cè)；支持多路多點(diǎn)采樣、高頻掃描，精準(zhǔn)捕捉瞬時(shí)污染、早期微量冷媒泄漏。

??操作簡(jiǎn)便｜直接進(jìn)樣，適配多基體

氣體樣品直接進(jìn)機(jī)，無(wú)需濃縮、轉(zhuǎn)化等前處理；兼容潔凈室空氣、大宗工藝氣體、特種高純氣體等復(fù)雜工況基體。

??超高靈敏｜ppt 級(jí)檢出，抗干擾穩(wěn)定

自動(dòng)化多試劑離子智能切換，最低檢出限可達(dá) ppt 級(jí)別，車(chē)間高濕、復(fù)雜雜質(zhì)背景環(huán)境下，數(shù)據(jù)依舊穩(wěn)定可靠。

??組分全面｜多物質(zhì)同步篩查

單機(jī)同步檢測(cè)全品類目標(biāo)物：AMC 污染物（VOC、硅氧烷、無(wú)機(jī)雜質(zhì)）、各類冷卻劑（HTF7300、Galden、R407c 等）、制程工藝釋放氣體。

附加亮點(diǎn)：整機(jī)全流程自動(dòng)化，一鍵啟動(dòng)運(yùn)行，可長(zhǎng)期無(wú)人值守在線監(jiān)測(cè)。

1、潔凈室AMC多點(diǎn)位定位監(jiān)測(cè)

最遠(yuǎn)覆蓋 200 米、支持 32 點(diǎn)位輪巡，7×24h 不間斷運(yùn)行；秒級(jí)預(yù)警突發(fā)污染，數(shù)據(jù)可視化報(bào)警，符合 SEMI S2/S8 規(guī)范，設(shè)備稼動(dòng)率高、維保工作量少。

2、潔凈室AMC移動(dòng)式排查檢測(cè)

機(jī)身便攜可移動(dòng)，快速鎖定污染源、挽回制程良率；自帶內(nèi)置氣源與剎車(chē)裝置，續(xù)航 1.5h，現(xiàn)場(chǎng)即時(shí)出檢測(cè)數(shù)據(jù)，合規(guī) SEMI 安全標(biāo)準(zhǔn)。

3、大宗、特氣雜質(zhì)檢測(cè)

對(duì) N?、O?、Ar 等基體氣體無(wú)干擾，適配三氟化氮（ NF3）、二氧化碳（CO2）、氬氣（ Ar）、潔凈干燥空氣（CDA）、氫氣（ H2）、氖氣（ Neon）、一氧化氮（NO）等多種工藝用氣，精準(zhǔn)檢測(cè)氣體內(nèi) ppt 級(jí)微量雜質(zhì)。

4、可檢測(cè)污染物品類

全覆蓋四類關(guān)鍵管控物質(zhì)：PFAS 含氟冷媒、硅系雜質(zhì)、含硫有機(jī)物、含磷有機(jī)物，適配半導(dǎo)體全品類 AMC 管控需求。

立足半導(dǎo)體精密制造嚴(yán)苛管控需求，SIFT-MS （選定離子流動(dòng)管質(zhì)譜儀） 以秒級(jí)快檢、免前處理、ppt 級(jí)高靈敏、全組分同步監(jiān)測(cè)的硬核實(shí)力，破解傳統(tǒng)監(jiān)測(cè)滯后、靈敏度不足、運(yùn)維繁瑣等行業(yè)痛點(diǎn)。全自動(dòng)化無(wú)人值守的運(yùn)行模式，全方位守護(hù)潔凈車(chē)間空氣品質(zhì)與設(shè)備安全，是半導(dǎo)體 AMC 管控、冷媒泄漏預(yù)警、工藝異常診斷的優(yōu)選監(jiān)測(cè)解決方案，助力工廠精細(xì)化氣體質(zhì)量管理，筑牢生產(chǎn)品質(zhì)防線。